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水浴/油浴防爆烘箱
PI固化爐適用于晶圓、玻璃基板、陶瓷基板旋涂后固化;晶圓退火。光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜、PI固化
高溫真空烘箱適用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無(wú)氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理
充氮真空烘箱適用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無(wú)氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理